一、產(chǎn)品描述

MFLGQ-2Z是一款多路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜最大可以承重1000Lbs，與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時。各通道氣路配單獨的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示，便與操控。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。。

二、產(chǎn)品特點

• 1．氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過質(zhì)子流量計控制氣體流量，再進入爐子進氣口，氣體從出氣管出來，經(jīng)過三通閥門，一端連接真空泵，一端連接出氣口。

• 2．混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數(shù)盤與質(zhì)子流量計安裝在同一面板上。

• 3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。

• 4．該氣路采用高精度氣體浮子流量計，氣路內(nèi)部全采用四氟管，耐腐蝕性好。

• 5．所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。

技術(shù)參數(shù)：

一、售后服務

          品質(zhì)保證：一年保修，終身技術(shù)支持。（特別提示，耗材部分如加熱元件、樣品坩堝等不在保修范圍內(nèi)因使用腐蝕性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)）

二、注意事項     

·嚴禁氧氣和氫氣同時使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的氣體前請嚴格檢查氣路的氣密性，使用氫氣前排空管內(nèi)的氧氣。不用氫氣時，應關(guān)閉閥門。

·流量計通道采用的材料為∶00Cr17面il4Mo2（相當于316L不銹鋼），通入的氣體應無水汽、低泄漏、如果要使用腐蝕性氣體用戶應在定貨時聲明。

·不得通氯化物、硫化物、等易腐蝕的氣體，否則容易損壞通氣管道，混氣罐等不銹鋼材質(zhì)的配件。

·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向混氣系統(tǒng)內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥。減壓閥應采用調(diào)控范圍在0.02-0.25Mpa 的專用氣體減壓閥（YQY-6（氧）、YQQ-9（氫）、YQE-03（乙炔）、YAr-04（氬氣）等）

·氫氣瓶必須使用專用的減壓器，開啟氣瓶時，操作者應站在閥口的側(cè)后方，動作要輕緩。.氣瓶應放置在陰涼通風處，避免陽光直曬，又能耐火的專門建筑物或室外，嚴禁將氣瓶和高溫設(shè)備放在一起。

·嚴禁使用瓶口有油污的氧氣瓶。

·每只氣瓶最低必須保留0.5 MPa的余壓。